混合涂层

在PVD & PaCVD涂层组成和技术中，DLC涂层作为一个特的类别而脱颖而出。这些涂层表现出低摩擦系数和高显微硬度的理想组合，使得它们在许多摩擦学和磨损应用中极其有效。

DLC涂层是在电离和分解的碳或烃类物质以通常为10-300eV的能量降落在基底表面时形成的。DLC膜具有优异的机械(高硬度)、光学(高光学带隙)、电学(高电阻率)、化学(惰性)和摩擦学(低摩擦和磨损系数)性能，并可在低衬底温度(~200°C)下沉积。

DLC薄膜通常是非晶的（即没有占主导地位的晶格结构），由sp2（石墨）和sp3（金刚石）相的混合物组成。膜性能的控制强烈地依赖于所选择的沉积技术(PVD溅射或蒸发和Pa-CVD)的通量特性、膜内的金属和氢含量、sp2:sp3比、衬底偏置电压、离子能量和离子密度以及衬底温度。DLC膜对钢的摩擦系数一般在0.05-0.20之间，而膜硬度和sp3含量可以根据具体应用而定制。含金属和氢的DLC(Me-DLC或a-C:H:Me)在500-2000HV范围内具有35%sp3的硬度，无金属DLC(C-DLC或a-C:H)通常为1500-4000HV和高达75%sp3，而四面体非晶碳(ta-C)在4000-9000HV范围内具有80-85%sp3。

因此提供了尽可能广泛的可选择的机械和物理性能范围。工具和/或应用的特性将决定哪种DLC涂层结构将是适合的。请参阅下表，我们可用的DLC涂料组合物的完整列表。